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金属诱导非晶硅晶化的多晶硅薄膜的制备技术

    新型固态光电器件与技术科技创新团队开发的金属诱导非晶硅晶化的多晶硅薄膜的制备技术,能够使非晶硅薄膜在低温(低于玻璃软化温度)下晶化为多晶硅薄膜,可制备出尺寸均匀、晶化程度好、晶粒尺寸达到微米量级、电学输运性质好的多晶硅薄膜。用铝诱导的方法制备的多晶硅晶粒尺寸达到了18微米,用锡诱导的方法制备的多晶硅晶粒尺寸达到了3微米。制备过程无毒、对环境无污染。该方法成本低廉、工艺简单,能够制备大面积的多晶硅薄膜,有利于工业化生产。用金属诱导的方法将多晶硅薄膜电池制备在玻璃衬底上,能够使玻璃幕墙成为太阳能发电机。这种多晶硅薄膜电池效率高、性能稳定、成本低,是利用太阳能这种清洁的可再生能源解决能源危机的重要途径。

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